Analyse de Gaz Résiduels
Série RGA
Systèmes pour l’analyse du contenu d’un récipient ou dérivés d’un process, avec des mesures de concentration de gaz ou vapeurs en temps réel.
HALO
Un RGA pour l’emprunte du vide, détection de fuites, et analyse de tendances.
Options Source d’Ions
Une gamme de source par impact d’électrons qui peut etre montée sur l’ensemble de nos RGA. Elles peuvent configurer des RGA pour des applications spécifiques, comme l’analyse de faisceaux moléculaires par exemple.
HMT
Double mode RGA pour diagnostic du vide et surveillance de procédé sans pompage différentielle. Prévu pour des mesures de gaz résiduels, contaminations et détection de fuites.
HAL 201 RC
Mesure de gaz résiduels, contaminations et détection de fuites. Prévu pour des mesures de gaz et vapeurs en temps réel.
HALO 201 MBE
Analyseur de gaz résiduels configuré pour l’epitaxy par faisceaux moléculaires. Conçu pour des mesures de gaz résiduels, contamination et détection de fuite dans les systèmes MBE.
Série EPIC / EPIC 1000
Système pour des analyses UHV des neutres, radicaux et ions, et mesures des ions, neutres et pressions partielles en UHV/XHV
Série IDP / IDP 1000
Système pour l’analyse d’ions, de neutres et de radicaux dans les études de désoption UHV avec mesure des ions et neutres dans les désorptions générées par photons ou électrons.
Série RGA 3F / 1000
Système pour procédés scientifiques de haute precision avec mesure des pressions partielles de gaz résiduels avec une tres haute résolution et une gamme de masse étendue à 1000uma.
XBS
Système pour l’analyse de multiples sources dans les applications MBE, et pour l’analyse du faisceaux moleculaires et le contrôle du dépot.
3F PIC / 1000 Series PIC
Système quadripolaire à triple filtre pour des procédés scientifiques de haute précision, offrant une très haute résolution avec détection digitale pour des applications UHV / ATG et une gamme de masse jusqu’à 1000uma.
DLS-1
Système conçu pour la recherche de fusion Tokamak / Torus pour des mesures de concentration de la pureté du gaz combustible de fusion, y compris les isotopes d’hydrogène, et deutérium dans l’hélium.
DLS-10
Spectromètre de masse quadripolaire très haute résolution spécialement conçu pour l’analyse des isotopes d’hydrogène et d’hélium et des gaz légers.
DLS-20
Spectromètre de masse très haute résolution avec commutation double-zone spécialement conçu pour l’analyse des isotopes d’hydrogène et d’hélium et des gaz légers.
HAL 101X
Système recherche de fusion pour Tokamak / Torus avec montage d’analyseur à distance jusqu’à 140 m. Comprend aussi le mode TIMS du système DLS-1 pour mesurer la concentration de pureté du gaz combustible de fusion, y compris les isotopes d’hydrogène et deutérium dans l’hélium.
